东湖新技术开发区武汉天马微电子有限公司年产手机显示屏1亿片,2010年投产至今实现安全生产“零事故”,2016年荣获"武汉市安全文化建设示范企业"称号。该公司负责人黄长虹称,生产车间还偶尔有员工在使用刀片时划伤手,倒是特气房防控措施最为严密,成了全公司最安全的场所。
生产手机屏需用“危化品”
手机显示屏加工,就是在特制的玻璃上印刷电路,从而实现触屏等功能。该公司制程过程中,需要用到6种特殊气体:氯气、氨气、三氟化氮、六氟化硫、硅烷、磷烷氢混合气,它们或易燃易爆,或有毒有害,均属于危险化学品。
昨天上午,记者来到武汉天马微电子公司生产车间。前段阵列车间生产的是大张半成品,整个工序需要在恒温洁净厂房进行。厂房每立方英尺(相当于1/35立方米)空气中直径超过PM0.3的颗粒不超过100粒,可谓世界上空气最为纯净的场所之一。
偌大的车间里,只有10来个身着洁净服的员工。黄长虹说,前段车间生产均为自动化设备,现场员工日常只负责监控生产设备各项参数。这些设备检修部位都配有各类感应及安全联锁装置,当手伸进去的时候,设备会联动停止,以防员工受伤。
氯气房配双人双锁
两名工作人员各执一把钥匙,打开两道锁,记者随同进入氯气房,墙上贴有“当心有害气体”“有毒害气体”和“当心腐蚀”等3个警示标识和《武汉天马职业危害告知牌》。氯气是一种黄绿色有刺激性气味的气体,具有毒性。急性氯气中毒,轻者呼吸系统受损,重者会导致死亡。
不过,天马微电子公司氯气房里却非常安全:氯气充装在一个密封的特制圆形钢瓶中,钢瓶瓶头阀是气体最容易泄漏的地方,针对这一风险公司专门制作瓶头阀箱,箱内设负压排气装置、气体侦测报警器。一旦阀门出现气体泄漏,气体侦测器报警并联动切断气体供应,同时负压排气可将泄漏气体抽入室外尾气处理装置予以净化。
通往生产车间的氯气管道均为双管:内管通氯气,外管中装有探测器,也有负压,能起到自动监测和排除残留的作用。
氯气房配有物联网显示屏,工厂内哪些区域在使用氯气、流量多大,显示屏上一清二楚。机台、氯气房内外和工厂车间配备了多个紧急切断按钮,发现异常按下任何一个,氯气阀门会自动关闭。
进硅烷室要关闭手机
硅烷是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物,广泛应用于微电子、光电子工业。但它又以特有的自燃、爆炸性而著称,自发着火范围宽,燃烧能量极大,是一种高危险性的气体。
进入硅烷室之前,记者被要求关闭手机,并把手放在人体静电释放器上。静电释放器上的绿色灯亮起,才能进入。
硅烷站位于工厂西南角,为半敞开式建筑,远离主厂房及其它建筑设施。墙上装有火焰探测器等火灾报警装置及雨淋等灭火系统,室内温度升高或探测到火苗,会联动启动自动喷淋灭火系统。气体报警侦测装置侦测到硅烷泄漏也会联动关停硅烷供应系统包括钢瓶阀。
黄长虹说,硅烷的高危险性,还在于它泄漏后灭火时可能遭遇特殊危害:泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性爆炸,如果泄压装置失灵也会引起钢瓶爆炸。因此,硅烷泄漏后灭火的程序非常复杂。
2015年9月7日下午5点多,公司紧急应变中心气体侦测系统显示硅烷气柜端泄漏报警,现场声光报警器同时发出警报。紧急应变中心值班人员立即逐级通报,并广播召集救援成员集结。应变小组成员集结后现场成立临时救灾指挥中心,应变指挥官及相关技术负责人立即研讨应急处置方案。
泄漏的大部分硅烷通过设备端排气自动抽入尾气处理装置,但气柜内残留少量气体无法抽排。在各方讨论制定出一种可行处理方案后,救灾组成员穿戴防护器材进入现场,手动排放气柜内硅烷。察觉现场有零星硅烷逸散冒烟,救援人员立即撤出现场。优化救灾方案后,救援人员再次穿着厚重的防火服进入现场,将气柜残留硅烷全部排放清除。
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